電子行業(yè)凈化車(chē)間檢測(cè)項(xiàng)目--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司 車(chē)間應(yīng)用:電子廠凈化工程是潔凈度等級(jí)在10千級(jí)規(guī)范左右的凈化工程生產(chǎn)車(chē)間,關(guān)鍵操縱氣體浮塵顆粒對(duì)工作中目標(biāo)的環(huán)境污染,內(nèi)部務(wù)必維持正壓力情況。
目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車(chē)間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開(kāi)放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí),基本上采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí),基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象,對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。
電子行業(yè)凈化車(chē)間檢測(cè) 電子潔凈廠房是屬于企業(yè)里資金投入特別大的部分,潔凈廠房?jī)艋療o(wú)塵車(chē)間建設(shè)完成后,能否達(dá)到設(shè)計(jì)目的(滿足產(chǎn)品工藝生產(chǎn)要求,符合GMP的要求),需要通過(guò)實(shí)踐檢則來(lái)確認(rèn)故數(shù)據(jù)。
由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。 可根據(jù)電子廠房潔凈標(biāo)準(zhǔn)對(duì)電子工業(yè)潔凈廠房進(jìn)行相關(guān)參數(shù)的監(jiān)測(cè),為廠房的順利交付、生產(chǎn)工藝的改進(jìn)及產(chǎn)品的質(zhì)量保證提供可靠的數(shù)據(jù)支持。
因?yàn)閮艋こ痰臋z測(cè)主要關(guān)注兩種粒徑,即0.5um和5um。等速采樣對(duì)≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計(jì)算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度,如果這些粒子不受等速條件的影響,則計(jì)算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對(duì)大于等于0.5um的顆粒有意義。 適用場(chǎng)景:潔凈生產(chǎn)用房,空調(diào)冷凍機(jī)房,純水和氣體凈化站,人員、物料凈化用房;電子廠房潔凈環(huán)境檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn):《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB 50472-2008);《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(GB50591-2010);《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50073-2013)
電子行業(yè)凈化車(chē)間檢測(cè) 電子潔凈車(chē)間一般要求潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)(小于3.5個(gè)),1000級(jí)(小于35個(gè)),10000級(jí)(小于350個(gè)),100000級(jí)(小于3500個(gè))。
電子無(wú)塵車(chē)間后,為電子無(wú)塵車(chē)間空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件的電加熱器出示空氣清新和過(guò)熱關(guān)閉電源維護(hù)(假如應(yīng)用點(diǎn)增濕器,應(yīng)出示沒(méi)有水維護(hù))。嚴(yán)寒氣溫地區(qū)應(yīng)是新鮮空氣系統(tǒng)出示防寒保障措施。 性能無(wú)塵車(chē)間能夠?yàn)殡娮有酒纳a(chǎn)制造和生產(chǎn)制造造就高度清理的環(huán)境。只能在這類(lèi)環(huán)境下,才可以確保電子芯片的生產(chǎn)安全。
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