ULVAC愛發(fā)科通用帶電機(jī)羅茨真空泵GR60A

價(jià)格

￥6,214.00

型號(hào)

GR60A

品牌

ULVAC愛發(fā)科

所在地

暫無(wú)

更新時(shí)間

2025-05-15 10:11:13

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

GR60A

產(chǎn)品描述

通過(guò)將泵體的溫度隔離在高溫區(qū)域，
該泵可以將CVD、蝕刻等過(guò)程中產(chǎn)生的升華性廢氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。

特征

可以將在高溫區(qū)域進(jìn)行熱等溫CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華性排氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。 “型號(hào)
：UR”可以達(dá)到比“型號(hào)：HR”更高的溫度。
配備氦氣密封罐裝電機(jī)，具有氣密結(jié)構(gòu)，極其安全。
瞬間停電對(duì)策
采取長(zhǎng)達(dá)1000毫秒的瞬間停電對(duì)策。
優(yōu)良的耐腐蝕性
：主要部件均采用標(biāo)準(zhǔn)的特殊表面處理，具有較高的表面硬度和優(yōu)良的耐腐蝕性。排出腐蝕性氣體時(shí)減少泵內(nèi)部的腐蝕。
通訊功能：
可以讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過(guò)使用軟件和計(jì)算機(jī)通信，可以實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

目的

CVD設(shè)備
蝕刻設(shè)備
灰化裝置
ALD、ALH 等。

規(guī)格

模型			HR60	HR90	HR300	HR600	HR1200
所用泵		分配資源計(jì)劃	HR60	HR90	HR60	HR90	HR90
		甲基溴化銨	-	-	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A
* 抽速	50赫茲	立方米^/小時(shí) （升/分鐘）	62(1030)	112（1860年）	359（5,980）	653(10,900)	1,012(16,900)
	60赫茲	立方米^/小時(shí) （升/分鐘）	80(1333)	126（2100）	365（6,080）	701(11,700)	1,051(17,500)
極限壓力		爸爸	5		0.67
*進(jìn)氣壓力（吸入壓力）			大氣壓*1
*排氣壓力（排氣壓力）		爸爸	1~大氣壓
進(jìn)氣口（CE規(guī)格）			VG50(KF50)	VG80(KF50)	VG80(KF80)		VG100(KF100)
排氣口			KF40
大量的		公斤				0	420
電力	三相	交流電壓(赫茲)	200(50/60), 220(60)
當(dāng)前值	處于穩(wěn)定狀態(tài)	一個(gè)	7.1 （200V時(shí)）	11.2 （200V時(shí)）	7.8 （200V時(shí)）	12.9 （200V 時(shí)）	15.4 （200V時(shí)）
	*限度	一個(gè)	7.3 （200V時(shí)）	11.8 （200V時(shí)）	8.1 （200V時(shí)）	13.8 （200V 時(shí)）	18.9 （200V 時(shí)）
冷卻水壓力		兆帕	0.1~0.3
冷卻水進(jìn)/出水壓差		兆帕	>0.1
冷卻水流量		升/分鐘	>5.0
吹掃氣體	一次壓力	兆帕	0.1~0.5
	二次壓力	兆帕	0.05~0.1
氮?dú)?/span>吹掃	軸	空間光調(diào)制器	5
	汽油	空間光調(diào)制器	0~45

*1 請(qǐng)勿在吸入壓力為 200 Pa 或更高的條件下連續(xù)運(yùn)行 HR300、HR600 或 HR1200。

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