ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 LR421

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 LR421

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

通過在低溫范圍內(nèi)平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。

長處

除了低溫整平（型號：LR）

PVD 工藝外，它還特別適用于制備室和取出室的排氣，在這些地方，縮短抽氣時間對于提高產(chǎn)量很重要。

由于其密封結(jié)構(gòu)，由于其密封

結(jié)構(gòu)，它非常安全。

瞬時停止：在 1000 毫秒內(nèi)實施瞬時停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊

表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能：

可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用軟件和計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。

用

成膜設(shè)備（濺射設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等）

減少準備室和取出室的排氣時間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣、機械增壓泵）

規(guī)范

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。