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ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 ES10-LR90
ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 ES10-LR90
多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。
在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域,需要更清潔的真空,并且需要真空泵來(lái)提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見(jiàn)的泵是羅茨干式真空泵。
“Model:ECO-SHOCK”是一個(gè)劃時(shí)代的附件,當(dāng)連接到您當(dāng)前的干式真空泵時(shí)
,它可以顯著節(jié)省干泵的能源。
長(zhǎng)處
有助于節(jié)能將干式真空泵的功耗降低
高達(dá) 80%(與本公司相比),
還具有抑制干泵發(fā)熱的作用,可降低空調(diào)設(shè)備的功耗。
* 不能用于排放易燃、易燃、有毒氣體等的泵。
提高干泵的性能提高極限壓力性能降低
排氣噪音降低排氣速度在連續(xù)運(yùn)行時(shí)間不過(guò)
1000 Pa 的應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)
高效率
*可安裝在排氣口抽真空沒(méi)有問(wèn)題的干泵上。
易于安裝
用
干式真空泵用于抽空空氣、氮?dú)夂蜌鍤獾榷栊詺怏w
用于濺射制備室和取出室的干式真空泵
型號(hào)名稱 | LR60 系列 | LR90 系列 | LR180型 |
抽速*1 | 1300升/分鐘 | 2100升/分鐘 | 3980升/分鐘 |
實(shí)測(cè)功耗*2 | 2.1千瓦 | 3.6千瓦 | 6.6千瓦 |
安裝 ECO-SHOCK 時(shí)測(cè)得的功耗 *3 *4 | 0.7千瓦 | 1.0千瓦 | 1.6千瓦 |
功率降低率 | 67% | 72% | 76% |
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