ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 ES10-LR60

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 ES10-LR60

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業(yè)等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

“Model：ECO-SHOCK”是一個劃時代的附件，當連接到您當前的干式真空泵時

，它可以顯著節(jié)省干泵的能源。

長處

有助于節(jié)能將干式真空泵的功耗降低

高達 80%（與本公司相比），

還具有抑制干泵發(fā)熱的作用，可降低空調(diào)設備的功耗。

* 不能用于排放易燃、易燃、有毒氣體等的泵。

提高干泵的性能提高極限壓力性能降低

排氣噪音降低排氣速度在連續(xù)運行時間不過

1000 Pa 的應用中實現(xiàn)

高效率

*可安裝在排氣口抽真空沒有問題的干泵上。

易于安裝

用

干式真空泵用于抽空空氣、氮氣和氬氣等惰性氣體

用于濺射制備室和取出室的干式真空泵

ES10 系列

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術支持。
2. 核心技術及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。