ULVAC愛發(fā)科 油擴散泵 BW-36
ULVAC愛發(fā)科 油擴散泵 BW-36
油擴散真空泵蒸發(fā)加熱的油以產(chǎn)生油蒸氣。 這種油蒸氣通過噴嘴高速注入并與氣體分子碰撞。 碰撞的氣體分子在油蒸氣流中向排氣口移動,從而產(chǎn)生真空。 這個過程非常有效,尤其是在需要高真空的應(yīng)用中。
油擴散真空泵可以實現(xiàn) 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空,與其他高真空泵相比,安裝經(jīng)濟上容易,初始成本低,并且由于結(jié)構(gòu)簡單,具有可靠性和耐用性,可長期提供穩(wěn)定的性能。 它廣泛應(yīng)用于研發(fā)等各個領(lǐng)域。
它抑制了油蒸氣從油擴散泵回流到進氣側(cè)。
長處
保護真空容器內(nèi)部免受油擴散泵的蒸汽污染。
它旨在*限度地減少排氣阻力。
BW-04B 和 BW-06B 可以通過設(shè)置適配器進一步降低油蒸氣的回流速率。
型 | BW-02 系列 | BW-04B 系列 | BW-06B 系列 | BW-10 系列 | BW-14 系列 | BW-20 系列 | BW-22 系列 | BW-36 系列 | BW-52 型 | ||
電導(dǎo) [L/sec] | 100 | 940 | 2200 | 3130 | 5000 | 13000 | 14000 | 54000 | 75000 | ||
外徑 [mm] | D | φ120 | φ149 | φ199 | φ350 | φ450 | φ625 | φ680 | φ1065 | φ1480 | |
T | 52 | 101 | 113 | 165 | |||||||
t | 4 | 26 | 28 | 35 | |||||||
冷卻水接管(尺寸) | 遙控 1/8 | RC 1/4 | RC 1/4 | RC 1/4 | 遙控 3/8 | 遙控 3/8 | 遙控 3/8 | 遙控 3/8 | RC 1/2 | ||
冷卻水 量 [L/min] |
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重量 [kg] | 1 | 1.3 | 1.7 | 7.6 | 11 | 22 | 28 | 66 | 200 |
ULVAC(愛發(fā)科)是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商,成立于1952年,部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè),ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域,為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。
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