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ULVAC愛(ài)發(fā)科 機(jī)械增壓泵 PMB2400D
ULVAC愛(ài)發(fā)科 機(jī)械增壓泵 PMB2400D
ULVAC愛(ài)發(fā)科 機(jī)械增壓泵 PMB2400D
機(jī)械增壓泵是一種可顯著提高抽速的泵。
通過(guò)與油旋轉(zhuǎn)真空泵或干泵等粗抽泵組合使用,在粗抽泵抽速下降的壓力范圍內(nèi),可以顯著提高粗抽泵的抽速。
應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風(fēng)洞測(cè)試、太空探測(cè)、真空浸漬、真空干燥等眾多領(lǐng)域。
通用型機(jī)械式增壓泵
“型號(hào):PMB Ver.D”是通用型機(jī)械式增壓泵。
可選擇可選的表面處理和常壓驅(qū)動(dòng)類型,也可以進(jìn)行風(fēng)冷運(yùn)行。
長(zhǎng)處
配備用于空氣冷卻的變頻器,可在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行風(fēng)冷作。
由于它與可從多電壓電機(jī)(200V 級(jí)、多電壓)中選擇的通用電機(jī)兼容,
因此也可以安裝防爆電機(jī)(可選)。
表面處理具有優(yōu)異的耐腐蝕性(選項(xiàng):T 型)
主要部件經(jīng)過(guò)陽(yáng)極氧化處理,表面硬度高,耐腐蝕性優(yōu)異。 減少泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕。
由于可以同時(shí)使用常壓驅(qū)動(dòng)型(選項(xiàng):變頻器)
粗抽泵同時(shí)啟動(dòng),可有效縮短排氣時(shí)間,因此與標(biāo)準(zhǔn)型相比,可以縮短排氣時(shí)間。
除了針對(duì)特殊應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)可選支持
外,還提供用于特殊應(yīng)用的型號(hào)。
型號(hào) *1 |
|
PMB100D | PMB300D | PMB600D | PMB1200D | PMB2400D | |||
*抽速 | 50 赫茲 |
m3/h (升/分鐘) |
95 (1,580) |
280 (4,670) |
500 (8,330) |
1,000 (16,667) |
2,000 (33330) |
2,500 (41,667) |
|
60 赫茲 |
115 (1,920) |
330 (5,500) |
600 (10,000) |
1200 (20,000) |
2,400 (40,000) |
3,100 (51,667) |
|||
*吸入壓力 | 50 赫茲 | 帕 | 9.3×103 | 1,2×103 | 1.3×103 | 2.0×103/8.0×102 | |||
60 赫茲 | 6.2×103 | 9.3×102 | 1,1×103 | 1.5×103/6.7×102 | |||||
*允許壓差 | 50 赫茲 | 帕 | 8.0×10 元3 | 4.0×103 | 7.3×103 | 3.5×103/4.7×103 | |||
60 赫茲 | 5,6×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | 3.0×103/4.7×103 | |||||
極限壓力 *2 | 帕 | 4.0×10-1 | 6,7×10-1 | ||||||
可驅(qū)動(dòng)壓力 | 帕 | ~1.0×105 (常壓驅(qū)動(dòng)) | |||||||
電機(jī) *3 |
電機(jī)功率 (位數(shù)) |
kW (位數(shù)) |
0.4(2) | 0.75(2) | 2.2(2) | 3.7(2) | 7.5(2) | ||
200V 級(jí) 電機(jī) |
50 赫茲 | V | 200 | ー | |||||
60 赫茲 | 200/220 | ー | |||||||
多電壓 電機(jī) |
50 赫茲 | V | 220~240/380~415°C | 200~240/380~415°C | |||||
60 赫茲 | 208~240/380~460°C | 200~240/380~460°C | |||||||
使用油 *4 | ULVOIL R-42 | ||||||||
所需油量 | L | 0.35 | 0.7 | 1.5 | 1.9 | 4 | |||
冷卻系統(tǒng) *5 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷/水冷 | |||||||
冷卻水 | 入口壓力 | Mpa | ー | 0.3 | |||||
入口壓差 | Mpa | ー | 0.05 | ||||||
冷卻水量 | 升/分鐘 | ー | 2 | 3 | |||||
冷卻水溫度 *6 | °C | ー | 5~30 | ||||||
進(jìn)氣口 JIS-B-2290 | VG50 等效值 | VG80 等效值 | VG100 等效值 | VG200 等效值 |
氣相沉積、濺射、離子鍍
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
分析儀器, 泄漏測(cè)試設(shè)備
氣體置換、填充、真空絕熱
熱處理爐、熔煉爐
其他真空設(shè)備