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首頁(yè) >巖瀨（天津）國(guó)際貿(mào)易有限公司> 技術(shù)文章> KAIJO楷捷超聲波清洗機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用
KAIJO楷捷超聲波清洗機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用
2025/07/02 15:27:08
?KAIJO楷捷超聲波清洗機(jī)憑借其高頻振動(dòng)產(chǎn)生的空化效應(yīng)，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域展現(xiàn)出不可替代的價(jià)值。在晶圓切割后的清洗環(huán)節(jié)，其微米級(jí)清潔能力可有效去除表面殘留的切割液和硅屑，避免后續(xù)光刻工藝中出現(xiàn)圖形缺陷。特別是在第三代半導(dǎo)體材料如碳化硅的加工中，傳統(tǒng)化學(xué)清洗易導(dǎo)致表面蝕刻不均，而楷捷采用的變頻超聲波技術(shù)能根據(jù)材料硬度自動(dòng)調(diào)節(jié)28kHz-120kHz頻段，在確保基底完整性的同時(shí)實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)污染物剝離。
針對(duì)芯片封裝前的引線框架清潔，設(shè)備創(chuàng)新性采用多槽串聯(lián)設(shè)計(jì)。*級(jí)40℃恒溫去油槽配合可降解環(huán)保清洗劑，第二級(jí)兆聲波漂洗槽配備納米氣泡發(fā)生器，*終在第三級(jí)真空干燥槽完成無水漬殘留處理，整套流程將傳統(tǒng)清洗良率從92%提升至99.6%。某存儲(chǔ)芯片制造商的實(shí)際案例顯示，采用楷捷定制方案后，因清洗不導(dǎo)致的焊線虛接故障率下降83%，每年節(jié)省返修成本400萬(wàn)元。
在光刻機(jī)鏡頭維護(hù)方面，其的聚焦式超聲波頭能*作用于鏡組縫隙，配合特制低表面張力清洗液，可在不拆卸鏡組的情況下清除納米級(jí)有機(jī)污染物。相較于行業(yè)平均15%的誤清洗損傷率，楷捷設(shè)備通過實(shí)時(shí)阻抗監(jiān)測(cè)系統(tǒng)將風(fēng)險(xiǎn)控制在0.3%以下。隨著半導(dǎo)體器件向3D堆疊架構(gòu)發(fā)展，其*研發(fā)的立體掃描式清洗模塊已能實(shí)現(xiàn)TSV通孔內(nèi)部360°無死角清潔，為5nm以下制程的良率提升提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐。
針對(duì)芯片封裝前的引線框架清潔，設(shè)備創(chuàng)新性采用多槽串聯(lián)設(shè)計(jì)。*級(jí)40℃恒溫去油槽配合可降解環(huán)保清洗劑，第二級(jí)兆聲波漂洗槽配備納米氣泡發(fā)生器，*終在第三級(jí)真空干燥槽完成無水漬殘留處理，整套流程將傳統(tǒng)清洗良率從92%提升至99.6%。某存儲(chǔ)芯片制造商的實(shí)際案例顯示，采用楷捷定制方案后，因清洗不導(dǎo)致的焊線虛接故障率下降83%，每年節(jié)省返修成本400萬(wàn)元。
在光刻機(jī)鏡頭維護(hù)方面，其的聚焦式超聲波頭能*作用于鏡組縫隙，配合特制低表面張力清洗液，可在不拆卸鏡組的情況下清除納米級(jí)有機(jī)污染物。相較于行業(yè)平均15%的誤清洗損傷率，楷捷設(shè)備通過實(shí)時(shí)阻抗監(jiān)測(cè)系統(tǒng)將風(fēng)險(xiǎn)控制在0.3%以下。隨著半導(dǎo)體器件向3D堆疊架構(gòu)發(fā)展，其*研發(fā)的立體掃描式清洗模塊已能實(shí)現(xiàn)TSV通孔內(nèi)部360°無死角清潔，為5nm以下制程的良率提升提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐。
