價(jià)格
電議
型號
SH200-A
品牌
ULVAC愛發(fā)科
所在地
四川省 成都市
更新時(shí)間
2025-06-20 14:42:02
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ULVAC愛發(fā)科 熱陰極電離真空計(jì) SH200-A
ULVAC愛發(fā)科 熱陰極電離真空計(jì) SH200-A
這是傳感器式真空計(jì)“型號：G-TRAN”多離子真空計(jì)的*號，可以連接不同測量范圍的測量元件。 該產(chǎn)品是 B-A 型電離真空計(jì)，能夠測量高真空。 延續(xù)了傳統(tǒng)壓力測量和低運(yùn)行成本的理念，它已被改進(jìn)為更加用戶友好。
長處
可連接不同測量范圍的傳感器：多離子計(jì)允許根據(jù)應(yīng)用選擇測量元件
緊湊性：比傳統(tǒng)產(chǎn)品小得多（控制器體積減少 56%），是世界上*小的級別
可用性改進(jìn)：可以通過 PC/智能手機(jī)連接設(shè)置設(shè)定點(diǎn)、狀態(tài)檢查等。
產(chǎn)品陣容充實(shí)：除了模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）之外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）
燈絲壽命通知功能：燈絲電量監(jiān)控可提前通知燈絲壽命
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空 （1×10）+5~5×10-8Pa）（連接了可選單元 SWU10-R 時(shí)）
的大氣壓力測量：可以檢查腔室打開時(shí)的大氣壓力（當(dāng)連接到可選單元 SAU 時(shí)）
用
用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的高真空范圍內(nèi)的過程控制
用于檢查具有許多工藝腔室的各種制造設(shè)備（如在線和單晶片類型）在高真空范圍內(nèi)的極限壓力
用于高真空和高真空設(shè)備的壓力測量
| 型 | SH200-A 型 | SH200-R 系列 | SH200-E（即將發(fā)布） | |
| 規(guī)范 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通信規(guī)格 | EtherCAT 規(guī)范 | |
| 自適應(yīng)多離子計(jì)傳感器 | M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070） | |||
| 可連接的傳感器 |
多離子真空計(jì)傳感器：1 皮拉尼真空計(jì) SWU10-R：1（可選） 大氣 壓力傳感器 SAU：1（可選） |
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| 重復(fù)性 （N2） | SH200 獨(dú)立模式：±2% | |||
| 采樣時(shí)間 | 60ms 5 移動平均線處理 | |||
| 測量值輸出 |
輸出電壓 DC 0~10V LOG 輸出 0.75V/個(gè)位數(shù) 壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2} |
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| 更新時(shí)間 | 60 毫秒 | |||
| 控制輸入信號 |
使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負(fù)邏輯 * FIL ON/OFF 信號根據(jù)模式的不同而使用不同 |
- | - | |
| 控制輸出信號 |
傳感器錯誤，設(shè)定點(diǎn) 1/2/3，發(fā)射有效，燈絲 功率監(jiān)控 額定值：24V MAX，50mA MAX，1V 飽和電壓 |
- | - | |
| 串行通信規(guī)格 | - | RS232C/RS-485 接口 | EtherCAT 技術(shù) | |
| LED 指示 | POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化） | |||
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SET1：設(shè)定點(diǎn) 1 LED SET2：設(shè)定點(diǎn) 2 LED SET3：設(shè)定點(diǎn) 3 LED |
- | - | ||
| 發(fā)射電流 | 1mA（1×10-3Pa 或更低）、10 μA （1×10-3PA 或更高） | |||
| DEGAS | 電子轟擊 1 mA，330 V | |||
| 傳感器耐壓 | 2×10+5Pa （*壓力） * 法蘭和卡箍等耐壓性必須單獨(dú)考慮。 | |||
| 傳感器內(nèi)部容積 | 17 厘米3（M-44），19 厘米3（M-45），17 厘米3（M-46） | |||
| 工作溫度范圍 | 10~50°C | |||
| 工作濕度范圍 | 15~80% （無結(jié)露） | |||
| 儲存溫度 | -20~65°C（斷電時(shí)，無冷凝） | |||
| IP 防護(hù)等級 | IP30 防護(hù)等級 | |||
| 電源電壓 | DC20~28V（紋波、噪聲 1% 以下）、8W 以下 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針（M2.6 螺絲） | |||
| 質(zhì)量 | 控制器：約 280g 測量元件（M-44、M-45）：80g、（M-46）：300g | |||
| 尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm（控制器） | |||
| 法規(guī)遵從性 | CE | |||
|
Op-syeong （奧普祥） |
多離子計(jì)傳感器 |
M-44 （NW16）、M-45 （NW25）、M-46 （ICF070） 材質(zhì) ：細(xì)絲 1,2 -Ir/Y2O3 涂層 其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐合金玻璃、可伐合金/鎳鍍層 |
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| 皮拉尼真空計(jì) | SWU10-R *兼容傳統(tǒng) SPU | |||
| 皮拉尼儀表傳感器 |
SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18管端）， SWP-P15（Φ15管端）材質(zhì) ： 細(xì)絲-Pt， 其他-BS/Ni， 電鍍， Ni， 焊錫 |
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| 氣壓傳感器 | SAU（NW16） 材質(zhì)：SUS316L | |||
| 單元電纜 |
GUC-200P（用于 SWU）：0.5m、1m、2mGUC-200A （用于 SAU）：0.5m、1m、2m |
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| 顯示單位 | 1CH：ISG1（使用 24V DC 電源） | |||
| 顯示單元電纜 |
SH200 ~ 顯示單元電纜 2m， 5m， 10m， 15m， 20m， 25m， 30m， 35m， 40m |
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| 連接器 | 輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm 螺絲）） | |||
| 其他 | 檢驗(yàn)報(bào)告、通用校準(zhǔn)檢驗(yàn)報(bào)告、JCSS 校準(zhǔn)證書 | |||
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ULVAC愛發(fā)科 熱陰極電離真空計(jì) SH200-A
這是傳感器式真空計(jì)“型號：G-TRAN”多離子真空計(jì)的*號，可以連接不同測量范圍的測量元件。 該產(chǎn)品是 B-A 型電離真空計(jì)，能夠測量高真空。 延續(xù)了傳統(tǒng)壓力測量和低運(yùn)行成本的理念，它已被改進(jìn)為更加用戶友好。