ULVAC愛發(fā)科 熱陰極電離真空計(jì) SH200-A
ULVAC愛發(fā)科 熱陰極電離真空計(jì) SH200-A
這是傳感器式真空計(jì)“型號:G-TRAN”多離子真空計(jì)的*號,可以連接不同測量范圍的測量元件。 該產(chǎn)品是 B-A 型電離真空計(jì),能夠測量高真空。 延續(xù)了傳統(tǒng)壓力測量和低運(yùn)行成本的理念,它已被改進(jìn)為更加用戶友好。
長處
可連接不同測量范圍的傳感器:多離子計(jì)允許根據(jù)應(yīng)用選擇測量元件
緊湊性:比傳統(tǒng)產(chǎn)品小得多(控制器體積減少 56%),是世界上*小的級別
可用性改進(jìn):可以通過 PC/智能手機(jī)連接設(shè)置設(shè)定點(diǎn)、狀態(tài)檢查等。
產(chǎn)品陣容充實(shí):除了模擬輸出規(guī)格(SH200-A)和串行通信規(guī)格(SH200-R)之外,還將增加EtherCAT規(guī)格(SH200-E)
燈絲壽命通知功能:燈絲電量監(jiān)控可提前通知燈絲壽命
壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空 (1×10)+5~5×10-8Pa)(連接了可選單元 SWU10-R 時(shí))
的大氣壓力測量:可以檢查腔室打開時(shí)的大氣壓力(當(dāng)連接到可選單元 SAU 時(shí))
用
用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的高真空范圍內(nèi)的過程控制
用于檢查具有許多工藝腔室的各種制造設(shè)備(如在線和單晶片類型)在高真空范圍內(nèi)的極限壓力
用于高真空和高真空設(shè)備的壓力測量
型 | SH200-A 型 | SH200-R 系列 | SH200-E(即將發(fā)布) | |
規(guī)范 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通信規(guī)格 | EtherCAT 規(guī)范 | |
自適應(yīng)多離子計(jì)傳感器 | M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) | |||
可連接的傳感器 |
多離子真空計(jì)傳感器:1 皮拉尼真空計(jì) SWU10-R:1(可選) 大氣 壓力傳感器 SAU:1(可選) |
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重復(fù)性 (N2) | SH200 獨(dú)立模式:±2% | |||
采樣時(shí)間 | 60ms 5 移動平均線處理 | |||
測量值輸出 |
輸出電壓 DC 0~10V LOG 輸出 0.75V/個(gè)位數(shù) 壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} |
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更新時(shí)間 | 60 毫秒 | |||
控制輸入信號 |
使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負(fù)邏輯 * FIL ON/OFF 信號根據(jù)模式的不同而使用不同 |
- | - | |
控制輸出信號 |
傳感器錯誤,設(shè)定點(diǎn) 1/2/3,發(fā)射有效,燈絲 功率監(jiān)控 額定值:24V MAX,50mA MAX,1V 飽和電壓 |
- | - | |
串行通信規(guī)格 | - | RS232C/RS-485 接口 | EtherCAT 技術(shù) | |
LED 指示 | POWER/ERROR:電源、錯誤 LED(閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化) | |||
SET1:設(shè)定點(diǎn) 1 LED SET2:設(shè)定點(diǎn) 2 LED SET3:設(shè)定點(diǎn) 3 LED |
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發(fā)射電流 | 1mA(1×10-3Pa 或更低)、10 μA (1×10-3PA 或更高) | |||
DEGAS | 電子轟擊 1 mA,330 V | |||
傳感器耐壓 | 2×10+5Pa (*壓力) * 法蘭和卡箍等耐壓性必須單獨(dú)考慮。 | |||
傳感器內(nèi)部容積 | 17 厘米3(M-44),19 厘米3(M-45),17 厘米3(M-46) | |||
工作溫度范圍 | 10~50°C | |||
工作濕度范圍 | 15~80% (無結(jié)露) | |||
儲存溫度 | -20~65°C(斷電時(shí),無冷凝) | |||
IP 防護(hù)等級 | IP30 防護(hù)等級 | |||
電源電壓 | DC20~28V(紋波、噪聲 1% 以下)、8W 以下 | |||
輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針(M2.6 螺絲) | |||
質(zhì)量 | 控制器:約 280g 測量元件(M-44、M-45):80g、(M-46):300g | |||
尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm(控制器) | |||
法規(guī)遵從性 | CE | |||
Op-syeong (奧普祥) |
多離子計(jì)傳感器 |
M-44 (NW16)、M-45 (NW25)、M-46 (ICF070) 材質(zhì) :細(xì)絲 1,2 -Ir/Y2O3 涂層 其他:PtC-Mo、SUS304、W、可伐合金玻璃、可伐合金/鎳鍍層 |
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皮拉尼真空計(jì) | SWU10-R *兼容傳統(tǒng) SPU | |||
皮拉尼儀表傳感器 |
SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18管端), SWP-P15(Φ15管端)材質(zhì) : 細(xì)絲-Pt, 其他-BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊錫 |
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氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì):SUS316L | |||
單元電纜 |
GUC-200P(用于 SWU):0.5m、1m、2mGUC-200A (用于 SAU):0.5m、1m、2m |
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顯示單位 | 1CH:ISG1(使用 24V DC 電源) | |||
顯示單元電纜 |
SH200 ~ 顯示單元電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m |
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連接器 | 輸入/輸出連接器(D-sub15-soket(M2.6mm 螺絲)) | |||
其他 | 檢驗(yàn)報(bào)告、通用校準(zhǔn)檢驗(yàn)報(bào)告、JCSS 校準(zhǔn)證書 | |||
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這是傳感器式真空計(jì)“型號:G-TRAN”多離子真空計(jì)的*號,可以連接不同測量范圍的測量元件。 該產(chǎn)品是 B-A 型電離真空計(jì),能夠測量高真空。 延續(xù)了傳統(tǒng)壓力測量和低運(yùn)行成本的理念,它已被改進(jìn)為更加用戶友好。